半導体カーブトレーサ CS-5000シリーズ
- 最大ピーク電圧3,000V (高電圧モード)
- 最大ピーク電流1,000A (CS-3300大電流モード)
- 全機種LEAKAGEモード搭載 (カーソル分解能1pA)
- 画面データ保存やセットアップデータ保存可能なUSBポート
- リモートコントロール用、LANインタフェース搭載
わかりやすい測定画面
コンフィグレーション画面
トランジスタのV-I特性例
(TRACEモード)
大電流パルスモード時のVbe・lc波形
(WAVEモード)
仕様
コレクタサプライHVモード仕様
| 型式 | CS-5000シリーズ共通 | ||
|---|---|---|---|
| モード／極性 | 全波整流/ + – 、DC/ + – 、LEAKAGE/ + – 、AC | ||
| 最大ピーク電圧 | 5kV | 300V | 30V |
| 最大ピーク電流 (最大ピークパルス電流 * 1 ) | 25mA (25mA*) | 750mA (1.5A*) | 7.5A (15A*) |
| 最大ピーク電力 | 5kV時：320mW / 3.2W / 32W 300V時：120mW / 1.2W / 120W / 390W | ||
| 垂直軸レンジ | 50mV～500V/div | ||
- 発生可能な最大瞬時電流値 (測定する対象や条件によって変化します) 測定は最大ピーク電流値以下でお願いします。
コレクタサプライHCモード仕様
| 型式 | CS-5100 | CS-5200 | CS-5300 | CS-5400 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| モード／極性 | HCモード非搭載 | Pulse／ + – | |||||||
| 最大ピーク電圧 | 40V | 30V | |||||||
| 最大ピーク電流 | 400A | 40A | 1,000A | 400A | 40A | 1,500A | 600A | 60A | |
| 最大ピーク電力 | 4kW | 400W | 10kW | 4kW | 400W | 12kW | 4.5kW | 400W | |
| パルス幅 | パルス幅は50µs～400µs (10µs分解能)で可変 | ||||||||
| 測定ポイント | 測定ポイントの指定が可能 (10µs分解能) | ||||||||
| 垂直軸レンジ | 100mA～50A/div | 100mA～100A/div | 100mA～200A/div | ||||||
| テスト･フィクスチャ | CS-303 | CS-304 | |||||||
共通仕様
| 項目 | 内容 | ||
|---|---|---|---|
| ループ補正 | ハードウェア | コレクタサプライとグランド間の浮遊容量を補正 | |
| ソフトウェア | ソフトウェアの細線化処理で擬似的にループ処理 | ||
| ステップ・ジェネレータ | オフセット | 設定範囲 | STEP AMPLITUDE設定の-10倍～+10倍 |
| 分解能 | STEP AMPLITUDE設定の1% | ||
| 電流モード | 振幅レンジ | 1ステップあたり50nA～200mA、21ステップ1-2-5切換 | |
| 最大電流 | 2A | ||
| 最大電圧 | 10V以上 | ||
| 電圧モード | 振幅レンジ | １ステップあたり50mV～2V、6ステップ1-2-5切換 | |
| 最大電流 | 500mA～(～8V)、200mA～(～15V)、10mA～(～40V) | ||
| 最大電圧 | ±40V | ||
| ステップ・レート | 50Hzまたは60Hzの2倍 (ACモード時は1倍)、HCモード時はパルス間隔 | ||
| パルス・ステップ | パルス幅 | 50µs～400µs (10µsステップ) HCモード時はコレクタサプライのパルスに対して前後100µs広いパルス幅 | |
| ステップ数 | 0～20ステップ | ||
| AUX出力 | レンジ | OFF、-40V～+40V (100mVステップで可変) | |
| 測定モード | REPEAT、STOP/SINGLE、SWEEP | ||
| 垂直軸 (フルスケール10div) | コレクタ電流 | レンジ | HVモード：1µA/div～2A/div、20ステップ1-2-5切換（HCモードは別掲） |
| 確度 | リードアウトの2%+0.05×VERT/divに 以下の最大ピーク電圧別のループ補正誤差を加算 0.5µA(30V)、1µA(300V)、6µA(3kV)、12µA(5kV) 30V、300V、3kV 最大ピーク電圧の10%以上、5kVは30%以上で規定 | ||
| エミッタ電流 (LEAKAGE) | レンジ | 1nA/div～2mA/div、20ステップ1-2-5切換 (コレクタ・サプライのモードはLEAKAGE) | |
| 確度 | リードアウトの2%+0.05×VERT/div+1nA以下 | ||
| 水平軸 (フルスケール10div) | コレクタ電圧 | レンジ | HCモード：50mV/div～5V/div、7ステップ1-2-5切換 (HVモードは別掲) |
| 確度 | リードアウトの2%+0.05×HORIZ/div以下 | ||
| ベース/エミッタ電圧 | レンジ | 50mV/div～5V/div、7ステップ1-2-5切換 | |
| 確度 | リードアウトの2%+0.05×HORIZ/div以下 | ||
| 表示 | ディスプレイ | 8.4インチTFT液晶 | |
| データ数 | 1,000ポイント/トレース (AC、全波整流) 20～1,000ポイント/トレース (SWEEPモード) | ||
| トレース表示 | 点間補間表示、ドット表示 | ||
| アベレージ | OFF、2～255回 | ||
| パーシスタンス | OFF、SHORT、LONG、無限長 | ||
| 内部波形保存 (REF) | ４画面 | ||
| カーソル測定 | DOT | Vert、Horiz、βまたはgm | |
| fLINE | Vert、Horiz、1/grad、intercept | ||
| FREE | Vert、Horiz、βまたはgm | ||
| WINDOW | WINDOWエリアのVert、Horiz、β またはgm | ||
| データ保存/読み出し | 内部メモリ | セットアップ：256個、REF：4画面 | |
| 外部メモリ | USB1.1：セットアップ、波形、画面ハードコピー (BMP、TIFF、PNG) | ||
| リモート | LAN接続によるリモート (10BASE-T/100BASE-TX：1ポート搭載) | ||
| 電源 | AC100～240V 50/60Hz 、動作時最大電力：500VA、待機時：7W Max | ||
| 外形寸法(mm) 質量 | CS-5100 | 約424W × 220H × 555D (突起部、付属品を除く) 約28kg (付属品を除く) | |
| CS-5200, 5300, 5400 | 約424W × 354H × 555D (突起部、付属品を除く) 約43kg (付属品を除く) | ||
標準添付品
| CS-5100 / CS-5200 / CS-5300 標準付属品 | ||
|---|---|---|
 CS-303 フィクスチャ M |  CS-500 テストアダプタ |  パッチパネルを 取り外した状態 |
 ワイヤセット | ||
| CS-5400 標準付属品 | ||
|---|---|---|
 CS-304 フィクスチャ M | CS-500 テストアダプタ |  パッチパネルを 取り外した状態 |
 ワイヤセット | ||
| CS-500 テストアダプタ | |
|---|---|
| お客様にご用意いただく測定対象部品とフィクスチャを接続するための治具になります。(標準添付品) |
オプション品
CS-301
CS-302
テスト･フィクスチャS
CS-3100 本体に標準添付
テスト･フィクスチャM
CS-3200 CS-3300 各本体に
標準添付
CS-303
CS-304
テスト･フィクスチャM
CS-5100 / CS-5200 / CS-5300
各本体に標準添付
テスト･フィクスチャM
CS-5400 本体に標準添付
CS-305
CS-307 / CS-307H
テスト･フィクスチャL
シグナルライト、サーモスイッチ、クーリングファン、LEDライト装備、インターロック
テスト･フィクスチャ
CS-307 : CS-3000 / CS-5000用（CS-5400を除く）
CS-307H : CS-5400用
CS-306
CS-308
プローバーケーブル
CS-3000 / CS-5000用
（CS-5400を除く）
プローバーケーブル
CS-5400用
PA-3020 / 3040 / 4030
CS-310
ホットプレート
非絶縁タイプ
サーモストリーマ用テスト･フィクスチャ
CS-521 / CS-522 / CS-523
IE-1310
サーモストリーマ用アダプタ
対応パッケージ
CS-521 : TO(CS-501Aの耐熱対応)
CS-522 : TO-263-3(D2PAK)(CS-503の耐熱対応)
CS-523 : TO-252-3(CS-504の耐熱対応)
CSセットアップコントローラ
本体のメニュー操作を一切せずに、設定を切り替えられるので、生産ラインに最適です。
テストアダプタ オプション
CS-500
耐熱TOソケット
テストアダプタ
(本体に1個標準添付)
200℃、350A（500μs）
TSSOP14用
CS-501A
※テスト･フィクスチャCS-301使用不可
TOタイプテストアダプタ
TOタイプのパッケージ（3端子）に適したソケットです。
リード間隔は1.52mm～4.57mmまで使用可能です。
CS-502
CS-503
AXIALタイプアダプタ
1kV / 1A MAX
TO-263-3（D2PAK）タイプアダプタ
CS-504
CS-505
TO-252-3タイプアダプタ
TO-263-7タイプアダプタ
CS-506
CS-507
TO-252-5タイプアダプタ
SC-70-3（SOT-323-3）タイプアダプタ
CS-508
CS-509
SMDチップタイプアダプタ
SC-59A（SOT-23-3）タイプアダプタ
CS-510
SC-62（SOT-89）タイプアダプタ
CS-700シリーズオプション
CS-701
CS-702A
スイッチコントロールユニット
PCとイーサネットで接続することで、半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810より各ユニットを総括制御する必須ユニットです。
1台で最多8ユニットを制御可能です。IPアドレスを割り当てることで複数台（最多10台）を用いた並列動作も可能です。
LVリレーユニット
300V/7.5A(DC)/30A(Pulse) 10CH
CS-703A
CS-704A
HVリレーユニット
5kV/0.5A 10CH
HCリレーユニット
2kV/7.5A(DC)/1,500A(Pulse) 10CH
CS-705
CS-706
HV/HCスイッチユニット
5kV/7.5A(DC)/1,000A(Pulse) HV/HC切換（手動可）機能付き ・CS-3200/3300/5200/5300用
エクステンションユニット
5kV/7.5A(DC)/15A(Pulse) CS-5400を使用する場合は改造が必要
CS-707A
CS-708A
ゲート/ショートユニット
6in1モジュール等測定時に測定していない素子のG-E間またはC-G間をショート可能
カーブトレーサ側:300V/7.5A(DC)/15A(Pulse)
デバイス側: 5kV/7.5A(DC)/15A(Pulse)10CH
HV-HCリレーユニット
5kV/7.5A(DC)/1,500A(Pulse) 2CH
CS-709A
CS-710
HV-HCリレーユニット
5kV/7.5A(DC)/1,500A(Pulse) 4CH
HV/HCスイッチユニット
5kV/7.5A(DC)/1,500A(Pulse) HV/HC切換(手動可)機能付き ・CS-5400用
ケーブルオプション
CS-001（赤10個）
CS-002（黒10個）
小型ワニグチクリップ
ワイヤセットに取り付け可能な、小型ワニグチクリップです。
小型ワニグチクリップ
ワイヤセットに取り付け可能な、小型ワニグチクリップです。
CS-003
CS-004
高圧ワイヤ 赤 5本セット
ワイヤ黒5本セット
CS-005
CS-006
標準リードセット
本体に標準付属されているリードセットです。
High Current用ケーブル 20cm×2本セット
CS-5400本体に標準付属
CS-007
High Current用ケーブル 30cm×2本セット
CS-10400またはCS-10800本体に標準付属
ソフトウェアオプション
CS-800
CS-801
CS-810
半導体パラメータサーチ 本体ソフトウェア
本体に組み込んで使用する ソフトウェアオプションです。
本体組み込みソフトウェア
ダブルスイープ
本体に組み込んで使用する ソフトウェアオプションです。
本体組み込みソフトウェア
半導体パラメータ測定 PCソフトウェア
本体にSC-800が搭載されている時に、PC（別売）で使用するソフトウェアです。
スキャナ・システム
6in1(7in1)や2in1モジュールなどの各チップの繋ぎ替えや複数のデバイスの繋ぎ替えを自動化します。
半導体パラメータ測定CS-810（外部PCにインストール）で各リレーユニットを制御し端子の接続切換を自動化します。
CS-810は本体、リレーユニット、恒温槽やホットプレートも制御することにより、6in1モージュール各チップの温度特性を自動で測定することも可能となります。
リレーユニットは並列接続が可能です。最大10台(100ch)可能です。
スイッチコントロールユニット
PCとイーサネットで接続することで、半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810より各ユニットを総括制御する必須ユニットです。
1台で最多8ユニットを制御可能です。IPアドレスを割り当てることで複数台（最多10台）を用いた並列動作も可能です。
リレーユニット
エクステンションユニット
温度特性測定
温度特性評価試験の省力化
半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810からカーブトレーサ、スキャナシステム、ホットプレートを自動制御することにより、温度特性評価の省力化を可能とします。
ホットプレート/恒温槽
その他アクセサリ
【プローバーケーブル】
【テスト･フィクスチャL】
半導体パラメータ測定ソフトウェア CS-810で測定を自動化し効率アップ!
従来、多々ある項目ごとに手作業にて設定しながら多くの時間をかけ測定していましたが、《半導体パラメータ測定ソフトウェア CS-810》採用することで、簡単に測定を自動化することができ、さらに測定内容もエビデンスとして保存できます。また、あらかじめしきい値を設定しておくことで自動判定も可能となります。
導入メリット
- 測定手順通り、もれなく確実に測定
- 測定内容もエビデンスとして保存
- 自動判定も可能
- オプション製品のコントロールも自動化可能（例えば、ホットプレートによる温度コントロール）
実際に比較してみました（当社比）
同じ試料を使用し自動測定（半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810）時と、従来の手動測定を比べてみました。
- 手動測定の時間に関しては、かなり熟知した方が操作をしている想定となっております。
以下の動画をご覧いただけない方は、 こちらより資料をダウンロードいただき 記載のQRコードでスマートホンでもご覧いただけます。
「半導体パラメータ測定ソフトウェア CS-810」を使用し測定を自動化した場合の動画
手作業にて設定しながら多くの時間をかけ測定場合の動画（時間がかかるため2倍速再生にしています）
さらに「配線変更作業」も含め自動化できます。スキャナーシステム(CS-700)をご覧ください。
周辺機器も制御可能
PCにインストールするソフトウェアオプションで、イーサネットを介してカーブトレーサやスキャナ、ホットプレートなどを制御します。
簡単な設定で、今まで手動でしか測定できなかったカーブトレーサでの測定を自動化でき、作業効率が向上します。
プログラミングの知識は不要
手動で測定したカーブトレーサの設定をPCに読み込む事によって、シーケンスを設定しますので、プログラミング等の知識は不要で、どなたでも簡単に設定できます。
自動測定（リーク電流、サチュレーション電圧、VF,Vthなど）
測定結果ウィンドウ
波形比較機能
開発時のバラツキや不良解析など測定後に保存した多数の波形を比較できます。また波形の比較で良否判定も出来ます。
■波形比較と判定
リファレンスデータに対する比較で良否判定ができます。
■波形表示
過去に取得したCSVファイルやカーブトレーサのリコール波形、現在取得した波形を同一グラフ上に最大10波形同時に表示して比較することが出来ます。
■リスケーリング機能
表示されている波形の電圧軸を任意の間隔でCSVファイルに保存します。測定結果を表にする場合に電圧軸を揃えることが出来ます。
■カーソル機能
表示されている波形の値が一覧で表示されます。 また、サンプリングポイント以外でも補間して値を表示します。
■コメント表示
各波形にコメントの表示、編集、移動が出来ます。
■グラフの画像保存
グラフ、ファイルリスト、カーソル値を任意に組み合わせて、画像ファイルに保存できます。
（画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF）
■多彩なグラフ表示
--設定可能項目--
グラフタイトル、プロットエリアの背景色、カーソル色、Line Dot（直線のみ、ドットのみ、直線とドット） X軸、Y軸：軸タイトル、データ選択（Ic/Vce/Vbe）、スケール（Log/Linear）（Y軸のみ）、目盛間隔（Auto,1-2-5Step）、目盛の最小値、最大値、グリッド（表示色、非表示）
伝達特性の自動測定機能
伝達特性をカーブトレーサで自動測定できます。
特性カーブのファイル保存
測定した特性をCSVファイルに保存、グラフを画像データとしてファイルに保存
※画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF
カーソル機能
X軸、Y軸にカーソルを表示します。測定データ間を補間して値を表示します。
グラフエリアのカスタマイズ
グラフのタイトル、軸ラベル、背景色、軸レンジ等のカスタマイズが出来ます。
設定の保存/読出し
特性測定の設定内容、グラフエリアのカスタマイズ設定内容をファイルへ保存と呼出ができます。
デバイスの試験
複数のデバイス試験と記録を短時間で確実に実施できます。
複数の測定項目を自動実行します。
オペレータはポップアップの情報に従って、デバイスの交換、配線の差し替えや必要に応じてサンプル名の入力（サンプル名自動インクリメント機能搭載）するだけで、同じ条件で測定を繰り返すことが可能です。
判定結果が測定毎に表示され、画像や波形データも自動保存します。
測定時には波形画像やデータを自動保存します。
ストレス試験のログは別ファイルに保存します。
ログ表示画面から測定結果を選択して再測定も可能です。
モジュールの測定
スキャナ・システムをカーブトレーサと同時にコントロールします。
各素子ゲートのオープン/ショートやHV/HC切換も制御でき、バスバーを外す事無く1モジュールの全自動測定を実現します。
CS-810の設定は1素子を設定後、素子の数コピーすることによって簡単に作成することが出来ます。
- 測定していない素子のゲートはエミッタとショートすることが出来ます(CS-707)
特性カーブのファイル保存
測定した特性をCSVファイルに保存、グラフを画像データとしてファイルに保存
- 画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF
カーソル機能
X軸、Y軸にカーソルを表示します。測定データ間を補間して値を表示します。
グラフエリアのカスタマイズ
X軸、Y軸にカーソルを表示します。測定データ間を補間して値を表示します。
設定の保存/読出し
特性測定の設定内容、グラフエリアのカスタマイズ設定内容をファイルへ保存と呼出ができます。
半導体の温度特性評価
CS-810はホットプレートも同時に制御します。
時間の掛かる温度ごとのパラメータの測定についても、全自動で行えます。
ストレス試験
各種パラメータをストレス試験に組み込める
- 長時間の信頼性試験が可能。
- 電流･電圧は常にカーブトレーサ側で自動監視しながら、電流と電圧の変化をロギングします。
- ストレス試験の途中や前後で各種パラメータの自動測定が出来ます。
- 電流または電圧ともに下限値、上限値を設定し限界値を超えると印加を停止します。
一定の電圧または電流を保持（10秒～1,000時間)
IcおよびVceを測定（インターバル:10秒～2時間）
ディスクリートデバイスの試験
接続してワンクリックで複数個のデバイスを測定
同じ素子を順々に測定することが出来ます。 スキャナシステムCS-700シリーズは10CHあります。 時間の掛かる温度特性など、10素子を全自動で測定します。 制御ソフトウェアCS-810の設定も、1素子をコピーすると完成です。
ウエハー測定への対応
プローバーシステムと結合することによってウエハー上のデバイスを測定
- プローバーケーブル CS-306/308
- プローバーとカーブトレーサとの接続用ケーブル（インターロック用端子装備）
価格
価格は、システム構成により異なります。詳細につきましては、お問い合わせください。