半導体カーブトレーサー CS-8000シリーズ
最大電圧5kV、最大電流2kAのSMUを搭載し、パルス出力・ゲートパターン・微小電流測定機能を備えており、SiC、GaN等、ワイドギャップ半導体の設計評価を強力にサポートします。
- 大画面15.6インチ FULL HD
- 直感的な操作性 タッチパネル&ボタン・ノブ&マウス
- 最大8CH
- 高分解能12bit(ハイレゾモード16bit相当)
- 最大メモリ長 120Mポイント標準装備
- 高速データ転送 当社従来比15倍
商品概要
主な仕様
ゲート電圧 ： ±40 V
電圧レンジ ： 0.2 ～ 5 kV
最大測定電流 ： 2 kA
電流測定分解能 ： 250 fA
実測定時のメリット
- SiCやGaNデバイスに対応
- ウエハーや小電力デバイスにも対応
- ハイパワーデバイスにも対応
- 微小電流測定に対応
使いやすいUI
12.1インチTFT-LCD(1,280×800)の高精細・大画面ディスプレイを搭載し、タッチスクリーンによる操作に加え、フロントパネル上のファンクションキー、機能毎に独立したノブで直感的な操作が可能です。
①表示エリア
任意の電圧/電流パラメータをそれぞれX軸Y軸に設定でき、Vds-Id特性、スレッショルド電圧、Vds-Vgs飽和特性等、様々な半導体特性カーブの表示が可能です。またY軸に複数のパラメータを設定できます。スケールはLog/リニアの切り替えが可能です。
②Y-T表示エリア
測定印加波形をオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅・測定ポイント・発振などの波形異常等をリアルタイムで確認できるので、正確な測定が行えたかの検証を容易に行えます。 全ての印加波形データはX-Y表示のデータと同時に保存できるので、測定結果の再検証を行うことができます。
③測定データ表示エリア
詳細な測定結果と測定条件、ステータスをテキスト形式で表示します。
④コンフィグレーション設定エリア
デバイスの測定コンフィグレーションを設定します。電圧/電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィカルな表示でサポートします
⑤パラメータ設定エリア
測定パラメータ・測定リミットの設定やマニュアル/自動測定の切り替えなどをこのエリアで行います。
⑥操作パネル
正面パネルにボタンとロータリーノブが配置されており、マニュアル測定を簡単に行えます。 中央に配置されたテンキーでは、パラメータの数値入力を行うことができます。 DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE・垂直軸・水平軸ロータリーノブによりマニュアル測定を簡単に行うことができます。
用途に合わせた出力ソース
用途に合わせて測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選択できます。
右写真は、
上段：テストフィクスチャ
下段：HCユニット(ハイカレントユニット)
HVユニット
2kV、5kVの高電圧ユニットです。DC/パルス波が選択可能です。
定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。
| メインユニット | CS-8200 | CS-8500 |
|---|---|---|
| 最大電圧(最大電流) | 2 kV(20 mA) | 5 kV(8 mA) |
| 波形 | DC、パルス | |
| 極性 | 正／負 | |
| 測定電流分解能 | 250 fA | |
MVユニット (全メインユニット共通)
200Vの中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SIN、半波、全波波形が選択できます。
| 最大電圧(最大電流) | 200 V (2 A) |
| 波形 | DC(200 mA)、パルス(2 A)、 SIN、半波、全波 |
| 極性 | 正／負／両極性 |
| 測定電流分解能 | 250 fA |
GATEユニット
40Vのユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SINが選択できます。
| 最大電圧(最大電流) | 40 V (1 A) |
| 波形 | DC、パルス、SIN |
| 極性 | 正／負／両極性 |
| 測定電流分解能 | 250 fA |
HCユニット
大電流モード搭載により、2000Aまでの大電流測定に対応できます。
パルス幅、測定周期、測定範囲が可変できます
| CS-205 | CS-210 | CS-220 | |
|---|---|---|---|
| 最大電流 (電圧) | 500 A (50 V) | 1 kA (50 V) | 2 kA (50 V) |
| 波形 | パルス | ||
| パルス幅 | 10µs～1ms | 10µs～500µs | |
| 極性 | 正／負 | ||
最小電流分解能 250 fA
トライアキシャルの採用と測定系の最適化等により、機器内のリークやノイズを低減したため、微小電流の安定した測定が可能です。
多彩なGATE信号出力
GATE信号をシーケンス出力し、印加することができます。
ホールドタイム可変範囲
0.000[s] ～ 5.000[s]
予備信号電圧範囲
GATE側 -40[V] ～ +40[V]
ヒステリシスの測定
CS-8000シリーズはヒステリシスを持ったSiCやGaNなどのワイドバンドギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。
ダブルスイープ機能はUPスイープ・DOWNスイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。
安全機構
インターロック機能に加え、出力リミット機能を備えています。
電圧・電流・電力、それぞれのリミット値を設定でき、DUTの損傷を防ぐことができます。
また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの1.4倍の電流が流れると電流を遮断します。
組み合わせ構成
測定ターゲットの電圧と電流に合わせてHCユニットやフィクスチャを
選択できます
■ 構成例 2 kV、2,000 Aで使用する場合
メインユニット：CS-8200
HCユニット：CS-220
テスト・フィクスチャ：CS-322 HV/HC
アクセサリケーブル：
HV標準ケーブルセット CS-021
HC標準ケーブルセット CS-022
CS-8000主な仕様
| ユニット | 項目 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 |
|---|---|---|---|---|
| HVユニット | 最大ピーク電圧(最大電流) | ― | 2 kV(20 mA) | 5 kV(8 mA) |
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | ― | 2 kV ～ 50 V | 5 kV ～ 50 V | |
| 測定電流レンジ | ― | 20 mA ～ 50 µA | 20 mA ～ 50 µA | |
| 最小測定電流分解能 | ― | 250 fA | 250 fA | |
| 波形 | ― | DC・パルス | DC・パルス | |
| MVユニット | 最大ピーク電圧(最大電流) | 200 V(1 A) | ||
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | 200 V ～ 200 mV | |||
| 測定電流レンジ | 2 A ～ 5 nA | |||
| 最小測定電流分解能 | 250 fA | |||
| 波形 | DC・パルス・SIN(50 Hz) | |||
| 標準付属品 | DC(200 mA)、 パルス(2 A)、 SIN、半波、全波 | |||
| GATEユニット | 最大ピーク電圧(最大電流) | 40 V(1 A) | ||
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | 50 V ～ 1 V | |||
| 測定電流レンジ | 1 A ～ 5 nA | |||
| 最小測定電流分解能 | 250 fA | |||
| 波形 | DC・パルス・SIN(50 Hz) | |||
| 標準付属品 | 電源ケーブル、コントロールインタフェース終端器、取扱説明書(冊子＋CD) | |||
| HCユニット | 最大ピーク電流(最大電圧) | CS-205装着時：500 A(50 V) CS-210装着時：1,000 A(50 V) CS-210装着時：2,000 A(50 V) | ||
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | CS-205装着時：50 V ～ 200 mV CS-210装着時：50 V ～ 200 mV CS-210装着時：50 V ～ 200 mV | |||
| 測定電流レンジ | CS-205装着時：500 A ～ 5 A CS-210装着時：1,000 A ～ 5 A CS-210装着時：2,000 A ～ 5 A | |||
| 波形 | CS-205装着時：パルス(幅10 µs ～ 1 ms) CS-210装着時：パルス(幅10 µs ～ 500 µs) CS-210装着時：パルス(幅10 µs～ 500 µs) | |||
| 標準付属品 | 電源ケーブル、HC-FIXTURE接続ユニット、取扱説明書 | |||
- HCユニットをご使用の場合は、別途センスケーブルが必要となります。
テスト・フィクスチャ仕様
| CS-320MV | CS-322HV / HC | |
|---|---|---|
| 標準付属品 | 電源ケーブル、標準リードセット(CS-005 1式7本組)、取扱説明書 | |
| ― | HV／HCケーブル (2本) | |
※テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。
ケーブル仕様(テスト・フィクスチャやHCユニットへの接続時に使用します)
■ケーブル単品
| 型名 | 品名 | 仕様 |
|---|---|---|
| CS-025 | HVケーブル | 長さ：1.0m |
| CS-026 | トライアキシャルケーブル | 長さ：1.0m |
| CS-027 | コントロールインタフェースケーブル | 長さ：1.0m |
| CS-028 | インターロック／センスケーブル | 長さ：1.0m |
■ケーブルセット
| 型名 | 品名 | 仕様 |
|---|---|---|
| CS-020 | MV標準ケーブルセット | ＜CS-320用推奨セット＞ CS-026 (トライアキシャルケーブル L=1.0m)×7本 CS-027 (コントロールインタフェースケーブル L=1.0m)×1本 CS-028 (インターロック／センスケーブル L=1.0m)×1本 |
| CS-021 | HV標準ケーブルセット | ＜CS-322用推奨セット＞ CS-025 (HVケーブル L=1.0m)×2本 CS-026 (トライアキシャルケーブル L=1.0m)×7本 CS-027 (コントロールインタフェースケーブル L=1.0m)×1本 CS-028 (インターロック／センスケーブル L=1.0m)×1本 |
| CS-022 | HC標準ケーブルセット | ＜HCユニット用推奨セット＞ CS-027 (コントロールインタフェースケーブル L=1.0m)×1本 CS-028 (インターロック／センスケーブル L=1.0m)×1本 |
【専用オプション CV測定システム】
【オプションユニット】
高電圧C-V測定システム
CS-8000シリーズ専用オプションである高電圧C-V測定システムは、容量測定ユニットCS-403とテストフィクスチャCS-323で構成されており、CS-8000によってドレイン（コレクタ）バイアス電圧、あるいはゲート（ベース）バイアス電圧値を掃引し、デバイスの容量および抵抗値を測定します。
CS-323では以下の式で定義される入力容量Ciss (Cies)、出力容量Coss (Coes)、逆伝達容量Crss(Cres)及び内部ゲート抵抗Rgを自動切替で測定することができます。
- 入力容量 Ciss = Cgs + Cgd
- 出力容量 Coss = Cds + Cgd
- 逆伝達容量 Crss = Cgd
仕様
● Cgd:Cds:Cgs = 1:1:1の場合
| 測定周波数 | 測定信号 レベル | Cgdの値に対する各パラメータの確度 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10pF | 100pF | 1nF | 10nF | 100nF | ||
| 1kHz | 20mV | |||||
| 100mV | ±(5%+20pF) | |||||
| 10kHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ||||
| 100mV | ±(5%+2pF) | |||||
| 100kHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ±(10%+2pF) | |||
| 100mV | ±(5%+2pF) | ±(10%+2pF) | ||||
| 200kHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ||||
| 100mV | ±(5%+2pF) | |||||
| 1MHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ±(10%+2pF) | |||
| 100mV | ±(5%+2pF) | ±(10%+2pF) | ||||
● Cgd:Cds:Cgs = 1:10:100の場合
| 測定周波数 | 測定信号 レベル | Cgdの値に対する各パラメータの確度 | ||
|---|---|---|---|---|
| 10pF | 100pF | 1nF | ||
| 1kHz | 20mV | |||
| 100mV | ±(5%+20pF) | |||
| 10kHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ±(10%+2pF) | |
| 100mV | ±(5%+2pF) | |||
| 100kHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ||
| 100mV | ±(5%+2pF) | |||
| 200kHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ||
| 100mV | ±(5%+2pF) | |||
| 1MHz | 20mV | ±(5%+2pF) | ||
| 100mV | ±(5%+2pF) | |||
容量測定ユニット CS-403
- ■測定周波数
1kHz, 10kHz, 100kHz, 200kHz, 1MHz, 2MHz, 10MHz - ■測定電圧範囲
20mV, 100mV - ■電源
コントロールインターフェイスより入力 - ■外形寸法
424 mm × 44 mm × 220 mm（付属品、突起部を除く） - ■質量
約2.2kg（付属品、突起部を除く） - ■付属品
- CVケーブル（×1）
- コントロールインターフェイスケーブルCS-027（×1）
- ユーザガイド
- セールスネットワーク
測定確度
●測定信号レベル 100mV
| 測定周波数 [Hz] | 容量 [F] | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1p～10p | 10p～100p | 100p～1n | 1n～10n | 10n～100n | 100n～1u | 1u | |
| 1k | 6 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 10k | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 100k | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 200k | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 1M | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 5 | 5 |
| 2M | 3 | 1 | 1 | 1 | 3 | — | — |
| 10M | — | 6 | 5 | 7 | — | — | — |
●測定信号レベル 20mV
| 測定周波数 [Hz] | 容量 [F] | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1p～10p | 10p～100p | 100p～1n | 1n～10n | 10n～100n | 100n～1u | 1u | |
| 1k | 6 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 10k | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 100k | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 200k | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 |
| 1M | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 5 | 5 |
| 2M | 3 | 1 | 1 | 1 | 3 | — | — |
| 10M | — | 6 | 5 | 7 | — | — | — |
テストフィクスチャ CS-323
- 電源
AC100V ～ 240V ± 10%、 50/60Hz - 外形寸法
424 mm × 180 mm × 555 mm（付属品、突起部を除く） - 質量
約11kg（付属品、突起部を除く） - 付属品
- 標準リードセットCS-005（×1）
- SHVテストワイヤリード（赤、×1）
- BNCテストワイヤリード（黒、×1）
- 小形ワニグチ（赤、黒 各1）
- HV/HCケーブル（2本組、×1）
- M6 L=12mm 座金組み込み（＋）ネジ（×1）
- 防護カバー（上／下、各1）
- 電源コード（×1）
- コードストラップ
- ユーザガイド
- セールスネットワーク
CS-401 Low Power Source Measure Unit
CS-8000シリーズ用の補助用電源ユニットで、最新のIGBTやパワーMOSFETなどのバックゲート特性測定や温度ダイオードなどの各種半導体の特性測定に利用できます。
■出力部
- 最大ピーク電圧：4W
- 電圧レンジ：
100V, 50V, 20V, 10V, 5V, 2V, 1V, 500mV - 電流レンジ：
200mA ～ 5nA (1/2/5ステップ） - 設定分解能：1/±20000
- モード：DC
- 極性：＋/-/±
※電圧レンジ100Vは+/-のみ - 設定確度：±(設定値×1.2% + 設定レンジ×0.4%)
■測定部
- 電圧レンジ：
100V, 50V, 20V, 10V, 5V, 2V, 1V, 500mV
※測定レンジの125%まで測定可 - 電流レンジ：
200mA ～ 5nA (1/2/5ステップ）
※測定レンジの125%まで測定可 - 設定分解能：1/±20000
- 設定確度：±(設定値×1.2% + 設定レンジ×0.4%)
※電流測定ではさらに (測定レンジ×0.002 %×Vo)を加算
(Voは出力電圧[V])
※5nA～20nAレンジは±50pA加算
■電源
コントロールインターフェイスより入力
■外形寸法
424 mm × 44 mm × 220 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約3kg（付属品を除く）
■付属品
ユーザガイド、セールスネットワーク
CS-402 Ssense Emitter Measure Unit
CS-8000シリーズ用の電流検出ユニットで、最新のIGBTやパワーMOSFETなどのエミッタを非測定デバイス内で分岐して出力される場合などに利用できます。
■測定部
- 電流レンジ：200mA ～ 500nA (1/2/5ステップ）
※測定レンジの125%まで測定可 - 設定分解能：1/±20000
- 設定確度：±(設定値×1.2% + 設定レンジ×0.4%)
■電源
コントロールインターフェイスより入力
■外形寸法
424 mm × 44 mm × 220 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約2.5kg（付属品を除く）
■付属品
ユーザガイド、セールスネットワーク
CS-404 Ssense Selector Unit
CS-8000シリーズ用のセンスセレクタユニットで、複数のCS-8000シリーズ オプションユニットを使用して測定する際、配線の差し替え等をせずにシームレスな測定を可能にします。
■制御信号
- コントロールインターフェイス入出力
- SENSE 入力（×4）
- SENSE1 出力
- SENSE2 出力
■電源
コントロールインターフェイスより入力
■外形寸法
424 mm × 44 mm × 220 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約2.0kg（付属品を除く）
■付属品
ユーザガイド、セールスネットワーク
CS-405 Power Expandar Unit
CS-8000シリーズ オプションユニット用の拡張電源で、CS-8000シリーズから電源供給を受けているユニットの使用制限台数を超える場合に、使用制限台数を増やすことができます。
■制御信号
コントロールインターフェイス入出力
■給電機能
コントロールインターフェイス出力より給電
給電能力：12V / 1.7A max
■電源
電源入力範囲：AC 100V ～ 240V ±10%、 50/60Hz
消費電力：39VA max
■外形寸法
424 mm × 44 mm × 220 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約3.0kg（付属品を除く）
■付属品
ユーザガイド、セールスネットワーク
CS-420シリーズ UHVユニット
CS-420シリーズは最大出力電圧15kVのSMUで、CS-8000シリーズのメインユニットから制御されます。
測定要件に応じで最大出力電圧10KV（CS-420）と15kV（CS-425）の2つのラインナップを用意しています。
高速鉄道や送配電用途で使用される電力機器の計測に最適です。
■出力部
●出力電圧（CS-420）
| 電圧範囲 | 設定分解能 | モード | 極性 | 最大ピーク電流 |
|---|---|---|---|---|
| 10kV | 500mV | DC | ＋ | 20mA |
| 5kV | 250mV | DC | ＋ | 20mA |
| 2kV | 100mV | DC | ＋ | 20mA |
●出力電圧（CS-425）
| 電圧範囲 | 設定分解能 | モード | 極性 | 最大ピーク電流 |
|---|---|---|---|---|
| 15kV | 1V | DC | ＋ | 13mA |
| 10kV | 500mV | DC | ＋ | 13mA |
| 5kV | 250mV | DC | ＋ | 13mA |
●測定電圧範囲
20kV ～ 500V レンジ（2/1/5 ステップ）
（CS-420に20kVレンジはありません）
●電圧測定確度
±（測定値×1.5% + 測定レンジ×0.5%）
●ダイナミックレンジ（測定電圧）
測定可能レンジの最大125%
※ 測定確度は測定レンジの範囲内
●測定電流範囲
20mA ～ 50uA レンジ（2/1/5ステップ）
2mA ～ 500nA レンジ（2/1/5ステップ）（リーク）
●電流測定確度
±（測定値×1.5% + 測定レンジ×0.5%）
●ダイナミックレンジ（測定電流）
測定可能レンジの最大125%
※ 測定確度は測定レンジの範囲内
■電源
電源入力範囲：AC 100V ～ 240V ±10%、 50/60Hz
消費電力：TBD
■外形寸法
424 mm × 135 mm × 555 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約15.4kg（付属品を除く）
■付属品
保護カバー（上/下）、電源コード、コードストラップ、ユーザガイド、セールスネットワーク
CS-200シリーズ HCユニット
CS-200シリーズ HCユニットは最大出力電流2000A、最大出力電圧40VのSMUです。
非測定デバイスの要件に合わせて、以下の3つのラインナップから選択できます。
| モデル | 最大電流 | 最大電圧 |
|---|---|---|
| CS-220 | 2kA | 25kW |
| CS-210 | 1kA | 12.5kW |
| CS-205 | 500A | 6.25kW |
■出力部
●出力電流
| 電流レンジ | 設定分解能 | モード | 極性 | 最大ピーク電圧 |
|---|---|---|---|---|
| 2kA※1 | 100mA | パルス | ＋／－ | 41V※4 |
| 1kA※2 | 50mA | パルス | ＋／－ | 50V |
| 500A | 25mA | パルス | ＋／－ | 50V |
| 200A | 10mA | パルス | ＋／－ | 50V |
| 100A | 5mA | パルス | ＋／－ | 50V |
| 50A | 2.5mA | パルス | ＋／－ | 50V |
| 10A | 1mA | パルス | ＋／－ | 50V |
| 5A | 500uA | パルス | ＋／－ | 50V |
- 2kAはCS-220のみ
- 1kAはCS-220/CS-210のみ
- 設定電圧は無負荷時の場合
- 2kAの電流レンジの場合、出力設定は41Vに制限
●設定確度
±（設定値×2% + 設定レンジ×0.1%）
●測定周期
2ms ～ 5ms
●測定ポイント
任意設定
●パルス幅
10μs ～ 500μs （2kA, 1kAレンジ）
10μs ～ 1ms （500 ～ 5Aレンジ）
※パルス幅が短い場合、最大電圧/電流まで出力できない場合があります。
●デューティ比
≦ 0.1% （2kA)
≦ 0.25% （1kA)
≦ 0.5% （500A, 200A)
≦ 1% （100A ～ 5A)
●出力抵抗
Typ. 25 mΩ （2kAレンジ） Typ. 50 mΩ （1kAレンジ） Typ. 100 mΩ （500Aレンジ）
■測定部
【電圧測定】
| 電圧レンジ※1 | 設定分解能 | 電圧レンジ | 設定分解能 |
|---|---|---|---|
| 50V | 2.5mV | 2V | 100μV |
| 20V | 1mV | 1V | 50μV |
| 10V | 500μV | 500mV | 25μV |
| 5V | 250μV | 200mV | 10μV |
- 電圧の測定はMAIN UNIT（MV SENSE端子）にて実施
●電圧測定確度※2、※3
±（設定値×2% + 設定レンジ×0.1%）
- 測定レンジ内の値
- MAIN UNITとの組み合わせの値
●ダイナミックレンジ（電圧測定）
測定レンジの125%まで測定可
【電流測定】
| 電流レンジ | 設定分解能 | 電流レンジ | 設定分解能 |
|---|---|---|---|
| 1A | 50μA | 50μA | 2.5nA |
| 500mA | 25μA | 20μA | 1nA |
| 200mA | 10μA | 10μA | 500pA |
| 100mA | 5μA | 5μA | 250pA |
●電流測定確度
±（設定値×2% + 設定レンジ×0.1%）※1,※2
- 2kAレンジはCS-220のみ
- 1kAレンジはCS-220/CS-210のみ
●ダイナミックレンジ（電流測定）
測定レンジの125%まで測定可
■電源
源入力範囲：AC 100V ～ 240V ±10%、 50/60H
■消費電力
CS-220：最大300VA
CS-210/CS-205：最大270VA
■外形寸法
CS-220：424 mm × 176 mm × 556 mm（付属品、突起部を除く）
CS-210/CS-205：424 mm × 132 mm × 556 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
CS-220：約22kg
CS-210/CS-205：約21kg
■付属品
- HC-FIXTURE接続ユニット
- 接続ブラケット（×4）
- 電源コード
- コードストラップ
- ユーザガイド
- セールスネットワーク
CS-200シリーズ UHCユニット
CS-200シリーズ UHCユニットは最大出力電流8000A、最大出力電圧40VのSMUです。
非測定デバイスの要件に合わせて、以下の2つのラインナップから選択できます。
| モデル | 最大ピーク電流 | 最大ピーク電力 |
|---|---|---|
| CS-280 | 8kA | 64kW |
| CS-240 | 4kA | 60kW |
■モード
±パルス
■最大ピーク電圧
60V（4kA）／32V（8kA)（TBD)
■最大ピーク電流
| 電圧範囲 | 設定分解能 | モード | 極性 | 最大ピーク電流 |
|---|---|---|---|---|
| 10kV | 500mV | DC | ＋ | 20mA |
| 5kV | 250mV | DC | ＋ | 20mA |
| 2kV | 100mV | DC | ＋ | 20mA |
■パルス幅
500μs ～ 900μs
※パルス幅が短い場合、最大電圧/電流まで出力できない場合があります。
■パルス周期
80ms ～ 2000ms（600W時）
160ms ～ 2000ms（6kW時）
1000ms ～ 2000ms（60kW時）
TBD（64kw時）
■パルス測定ポイント
10μs ～ パルス幅設定値（10μsステップ）
■データポイント
20 ～ 1000 ポイント／トレース
■電源
電源入力範囲：AC 100V ～ 240V ±10%、 50/60Hz
消費電力：TBD
■外形寸法
TBD（付属品、突起部を除く）
■質量
TBD（付属品を除く）
テストフィクスチャ CS-320
CS-8020用のテストフィクスチャで、最新のGaN, SiCデバイスのみならず、トランジスタやダイオードなどの様々な半導体の特性評価に使用することができます。
- 最大ピーク電圧：200V
- 最大ピーク電流：2A
■背面端子部
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| DRAIN/COLLECTOR | 200Vpk:フォース、センス（トライアキシャル） |
| GATE/BASE | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk；フォース、センス（トライアキシャル） |
| AUX1 | 40Vpk：BNC |
| AUX2 | 40Vpk：BNC |
■パネルカバー内端子
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| DRAIN/COLLECTOR | 200Vpk：フォース、センス（4Φ バナナ端子） |
| GATE/BASE | 40Vpk：フォース、センス（4Φ バナナ端子） |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（4Φ バナナ端子） |
| AUX1 | 40Vpk：（4Φ バナナ端子） |
| AUX2 | 40Vpk：（4Φ バナナ端子） |
| GNDU | -：（4Φ バナナ端子） |
■電源
コントロールインターフェイスより入力
■外形寸法
330 mm × 180 mm × 370 mm（付属品、突起部を除く）
■質量
TBD（付属品、突起部を除く）
■付属品
標準リードセット、保護カバー（上／下）、電源コード、コードストラップ、取り扱い説明書
テストフィクスチャ CS-322
CS-8000シリーズおよびCS-200シリーズ用のテストフィクスチャで、最新のGaN, SiCデバイスのみならず、トランジスタやダイオードなどの様々な半導体の特性評価に使用することができます。
測定回路を選択／切り替えるスイッチ・マトリックスを内蔵し、面倒な配線替えを行うことなく、様々な半導体パラメータを測定することが可能です。
- 最大ピーク電圧：5,000V
- 最大ピーク電流：2,000A
■背面端子部
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| DRAIN/ COLLECTOR | MIDLE VOLTAGE | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） |
| HIGH VOLTAGE | 5kVpk：フォース、センス（HV） | |
| HIGH CURRENT | 50Vpk：HIGH, LOW（6φ バナナ端子） | |
| GATE/BASE | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| GNDU | – ：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| AUX1 | 40Vpk：BNC | |
| AUX2 | 40Vpk：BNC | |
■パネルカバー内端子
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| DRAIN/COLLECTOR | 5kVpk：フォース（4φ バナナ端子/6Φ ネジ端子） センス（4φ バナナ端子） |
| GATE/BASE | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子） |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：（4φ バナナ端子） |
| AUX1 | 40Vpk：（4φ バナナ端子） |
■電源
- 電圧範囲：AC 100 ～ 240V ±10%
- 周波数：50/60Hz
- 消費電力：最大50VA
■外形寸法
424 mm × 180 mm × 555mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約10kg（付属品、突起部を除く）
■付属品
M6 L=12mm 座金組み込み（＋）ネジ、保護カバー（上／下）、電源コード、コードストラップ、取り扱い説明書
テストフィクスチャ CS-324
CS-8000シリーズおよびCS-200シリーズ用のテストフィクスチャで、最新のGaN, SiCデバイスのみならず、トランジスタやダイオードなどCS-8000シリーズおよびCS-200シリーズと、CS-700シリーズ スキャナシステム、プローブ・システム、または弊社以外のフィクスチャと接続するためのフィクスチャです。
CS-8000シリーズおよびCS-200シリーズ HCユニットを使用して、下記のピーク電圧／電流を実現します。
- 最大ピーク電圧：5,000V
- 最大ピーク電流：2,000A
■背面端子部
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| DRAIN/ COLLECTOR | MIDLE VOLTAGE | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） |
| HIGH VOLTAGE | 5kVpk：フォース、センス（HV） | |
| HIGH CURRENT | 50Vpk：HIGH, LOW（6φ バナナ端子） | |
| GATE/BASE | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SMU | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| GNDU | – ：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| AUX1 | 40Vpk：BNC | |
| AUX2 | 40Vpk：BNC | |
■パネルカバー内端子
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| DRAIN/COLLECTOR | 5kVpk：フォース（4φ バナナ端子/6Φ ネジ端子） センス（4φ バナナ端子） |
| GATE/BASE | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子） |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：（4φ バナナ端子） |
| SMU | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子/トライアキシャル） |
| AUX1 | 40Vpk：（4φ バナナ端子） |
| AUX2 | 40Vpk：4φ バナナ端子 |
| GND | – ：4φ バナナ端子 |
■電源
- 電圧範囲：AC 100 ～ 240V ±10%
- 周波数：50/60Hz
- 消費電力：最大50VA
■外形寸法
424 mm × 180 mm × 555mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約9kg（付属品、突起部を除く）
■付属品
M6 L=12mm 座金組み込み（＋）ネジ （×2）、保護カバー（上／下）、電源コード、コードストラップ、取り扱い説明書
テストフィクスチャ CS-325
CS-8000シリーズおよびCS-200シリーズ HCユニット用のテストフィクスチャで、最新のIGBTsやパワーMOSFETなどの高電圧／大電流のパワーデバイスの特性評価に使用できます。
CS-325はCS-401/CS-402用の専用接続端子を備えています。
- 最大ピーク電圧：5,000V
- 最大ピーク電流：2,000A
■背面端子部
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| DRAIN/ COLLECTOR | MIDLE VOLTAGE | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） |
| HIGH VOLTAGE | 5kVpk：フォース、センス（HV） | |
| HIGH CURRENT | 50Vpk：HIGH, LOW（6φ バナナ端子） | |
| GATE/BASE | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SMU | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| GNDU | – ：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| AUX1 | 40Vpk：BNC | |
| AUX2 | 40Vpk：BNC | |
■パネルカバー内端子
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| DRAIN/COLLECTOR | 5kVpk：フォース（4φ バナナ端子/6Φ ネジ端子） センス（4φ バナナ端子） |
| GATE/BASE | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子） |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子） |
| SMU | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子/トライアキシャル） |
| AUX1 | 40Vpk：（4φ バナナ端子） |
| AUX2 | 40Vpk：4φ バナナ端子 |
| GND | – ：4φ バナナ端子 |
■電源
- 電圧範囲：AC 100 ～ 240V ±10%
- 周波数：50/60Hz
- 消費電力：最大50VA
■外形寸法
424 mm × 180 mm × 555mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約9kg（付属品、突起部を除く）
■付属品
M6 L=12mm 座金組み込み（＋）ネジ （×2）、保護カバー（上／下）、電源コード、コードストラップ、取り扱い説明書
テストフィクスチャ CS-326
CS-325と同等な基本仕様を備えた大容量テストフィクスチャで、CS-401/CS-402との専用接続端子を標準装備しています。
さらに、さらに、CMUユニットCS-403またはUHVユニットCS-420/425を使用する場合は、オプション構成として専用接続端子を追加できます。
- 最大ピーク電圧：5,000V
- 最大ピーク電流：2,000A
■背面端子部
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| DRAIN/ COLLECTOR | MIDLE VOLTAGE | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） |
| HIGH VOLTAGE | 5kVpk：フォース、センス（HV） | |
| HIGH CURRENT | 50Vpk：HIGH, LOW（6φ バナナ端子） | |
| GATE/BASE | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SMU | 200Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| GNDU | – ：フォース、センス（トライアキシャル） | |
| AUX1 | 40Vpk：BNC | |
| AUX2 | 40Vpk：BNC | |
■パネルカバー内端子
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| DRAIN/COLLECTOR | 5kVpk：フォース（4φ バナナ端子/6Φ ネジ端子） センス（4φ バナナ端子） |
| GATE/BASE | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子） |
| SOURCE/EMITTER | 40Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子） |
| SMU | 200Vpk：フォース、センス（4φ バナナ端子/トライアキシャル） |
| AUX1 | 40Vpk：（4φ バナナ端子） |
| AUX2 | 40Vpk：4φ バナナ端子 |
| GND | – ：4φ バナナ端子 |
■電源
- 電圧範囲：AC 100 ～ 240V ±10%
- 周波数：50/60Hz
- 消費電力：最大50VA
■外形寸法
424 mm × 180 mm × 555mm（付属品、突起部を除く）
■質量
約11kg（付属品、突起部を除く）
■付属品
標準リードセット CS-005 （×1）、HV/HCケーブル CS-006 （×1)、M6 L=12mm 座金組み込み（＋）ネジ （×2）、保護カバー（上／下）、電源コード、コードストラップ、取り扱い説明書
UHVターミナル（オプション）
CS-326 テストフィクスチャまたはUHCユニットCS-240/CS-280と組み合わせて使用します。
UHVユニットCS-420またはCS-425と使用する場合、フィクスチャ内に専用の測定端子を追加することができます
■背面端子部
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| UHV | UHV HIGH | 15kVpk：フォース、センス（コネクタ） |
| UHV LOW | フォース、センス（トライアキシャル） | |
CVターミナル（オプション）
このオプションは、テストフィクスチャCS-326、またはUHCユニットCS-240およびCS-280で使用します。CVユニット CS-403と併用することで、フィクスチャ内部に専用の測定端子を追加することができます。電気的仕様は、CS-323のCV部と同じです。
| 品名 | 型名 | 価格 | 備考 | |
|---|---|---|---|---|
| 本体 | 半導体カーブトレーサ | CS-8020 | 3,530,000円 （税込：3,883,000円） | 200V、1A / 100V、2A |
| CS-8200 | 4,900,000円 （税込：5,390,000円） | 2kV、20mA | ||
| CS-8500 | 7,500,000円 （税込：8,2500,000円） | 5kV、8mA | ||
| ユニット | HCユニット | CS-205 | 3,280,000円 （税込：3,608,000円） | 500A(50V) |
| CS-210 | 5,700,000円 （税込：6,270,000円） | 1000A(50V) | ||
| CS-220 | 9,800,000円 （税込：10,780,000円） | 2000A(50V) | ||
| UHCユニット | CS-240 | お問い合わせください。 | 4000A（60V） | |
| CS-280 | お問い合わせください。 | 8000A（32V）（TBD） | ||
| LPSMU | CS-401 | お問い合わせください。 | ||
| SEMU | CS-402 | お問い合わせください。 | ||
| 高電圧CV測定ユニット | CS-403 | お問い合わせください。 | 測定周波数：1kHz, 10kHz, 100kHz, 200kHz, 1MHz, 2MHz, 10MHz 測定電圧：20mV, 100mV | |
| センス・セレクタ | CS-404 | お問い合わせください。 | ||
| Power Expander | CS-405 | お問い合わせください。 | ||
| UHVユニット（10kV） | CS-420 | お問い合わせください。 | 10kV, 20mA | |
| UHVユニット（15kV） | CS-425 | お問い合わせください。 | 15kV, 13mA | |
| テストフィクスチャ | テストフィクスチャMV | CS-320 | 700,000円 （税込：770,000円） | 200V / 2A ※CS-8020用 |
| テストフィクスチャHV / HC | CS-322 | 2,500,000円 （税込：2,750,000円） | 5kV / 2000A ※CS-200シリーズ用 | |
| テストフィクスチャCV | CS-323 | お問い合わせください。 | 5kV / 2000A | |
| テストフィクスチャ | CS-324 | お問い合わせください。 | 5kV / 2000A プローバシステム、CS-700シリーズ スキャナシステム、他社製テストフィクスチャとの接続用 | |
| テストフィクスチャ | CS-325 | お問い合わせください。 | 5kV / 2000A CS-401/CS-402との専用端子を装備 | |
| テストフィクスチャ | CS-326 | お問い合わせください。 | 5kV / 2000A CS-401/CS-402、CVユニットCS-403、UHVユニットCS-420/425との専用接続端子を装備 | |
| スキャナ・システム | スイッチコントロールユニット | CS-701 | お問い合わせください。 | 8台のスキャンシステム用ユニットを制御 |
| LVリレーユニット | CS-702A | お問い合わせください。 | 300V, 30A（10チャンネル） | |
| HVリレーユニット | CS-703A | お問い合わせください。 | 5kV, 0.5A（10チャンネル） | |
| HCリレーユニット | CS-704A | お問い合わせください。 | 2kV, 1500A（10チャンネル） | |
| ゲートショートユニット | CS-707A | お問い合わせください。 | ||
| HCリレーユニット | CS-708A | お問い合わせください。 | 5kV, 1500A（2チャンネル） | |
| HCリレーユニット | CS-709A | お問い合わせください。 | 5kV, 1500A（4チャンネル） | |
| ケーブルセット | MV標準ケーブルセット | CS-020 | 115,000円 （税込：126,500円） | ＜CS-320用推奨セット＞ CS-026×7本 CS-027×1本 CS-028×1本 |
| HV標準ケーブルセット | CS-021 | 260,000円 （税込：286,000円） | ＜CS-322用推奨セット＞ CS-025×2本 CS-026×7本 CS-027×1本 CS-028×1本 | |
| HC標準ケーブルセット | CS-022 | 28,000円 （税込：30,800円） | ＜HCユニット用推奨セット＞ CS-027×1本 CS-028×1本 | |
| LPSMU標準ケーブルセット | CS-029 | お問い合わせください。 | LPSMU（CS-401）用標準ケーブルセット CS-026 ×4本 CS-027 ×1本 CS-028 ×2本 | |
| SEMU標準ケーブルセット | CS-030 | お問い合わせください。 | SEMU（CS-402）用標準ケーブルセット CS-026 ×4本 CS-027 ×1本 CS-028 ×1本 | |
| センスセレクタ標準ケーブルセット | CS-031 | お問い合わせください。 | センスセレクタ（CS-404）用標準ケーブルセット CS-027 ×1本 CS-028 ×2本 | |
| UHV標準ケーブルセット | CS-029 | お問い合わせください。 | UHVユニット（CS-420/CS-425）用標準ケーブルセット CS-026 ×2本 CS-027 ×2本 CS-028 ×1本 CS-033 ×2本 | |
| ケーブル | HVケーブル | CS-025 | 78,000円 （税込：85,800円） | HV(2kV)、HV(5kV)のフォース、センス用 |
| トライアキシャルケーブル | CS-026 | 16,000円 （税込：17,600円） | MV、ゲート・エミッタのフォース、センス用 | |
| コントロールインターフェース ケーブル | CS-027 | 16,000円 （税込：17,600円） | ユニット制御用 | |
| インターロック/センスケーブル | CS-028 | 17,000円 （税込：18,700円） | インターロック、HCセンス用 | |
| 測定ケーブル | 高圧ワイヤ赤5本セット | CS-003 | 21,000円 （税込：23,100円） | 高電圧ワイヤ（赤）5本セット |
| ワイヤ黒5本セット | CS-004 | 21,000円 （税込：23,100円） | 標準ワイヤ（黒）5本セット | |
| 標準リードセット | CS-005 | 61,000円 （税込：67,100円） | 標準添付リードセット | |
| HC用ケーブル | CS-006 | 38,000円 （税込：41,800円） | 20cm 2本セット | |
| HC用ケーブル | CS-007 | 45,000円 （税込：49,500円） | 30cm 2本セット | |
| パネル | CS-32×用パッチパネル | CS-520 | 108,000円 （税込：118,800円） | CS-32×用 |
| ワニ口 | 小型ワニ口赤10個セット | CS-001 | 19,000円 （税込：20,900円） | 小型ワニ口クリップ 赤10個組み |
| 小型ワニ口黒10個セット | CS-002 | 19,000円 （税込：20,900円） | 小型ワニ口クリップ 黒10個組み | |
| テスト・アダプタ | テスト・アダプタ | CS-500 | 15,000円 （税込：16,500円） | ブランクアダプタ |
| TOタイプテスト・アダプタ | CS-501A | 84,000円 （税込：92,400円） | TO-220-3、TO247-3 | |
| AXIALタイプアダプタ | CS-502 | 84,000円 （税込：92,400円） | アキシャルタイプ | |
| TO-263-3(D2PAK)タイプアダプタ | CS-503 | 84,000円 （税込：92,400円） | TO-263-3 / D2PAK | |
| TO-252-3タイプアダプタ | CS-504 | 84,000円 （税込：92,400円） | TO-252-3用 | |
| TO-263-7タイプアダプタ | CS-505 | 84,000円 （税込：92,400円） | TO-263-7用 | |
| TO-252-5タイプアダプタ | CS-506 | 84,000円 （税込：92,400円） | 特注 TO-252-5用 ご注文時に#1,2,4,5ピンの接続をご指定下さい。 | |
| SC-70-3(SOT-323-3)タイプアダプタ | CS-507 | 84,000円 （税込：92,400円） | SC-70-3 / SOT-323-3用 | |
| SMDチップタイプアダプタ | CS-508 | 360,000円 （税込：396,000円） | SMD用 2端子（拡張板金別途必要） | |
| SC-59Aタイプアダプタ | CS-509 | 84,000円 （税込：92,400円） | SC-59A / SOT-23-3L用 | |
| SC-62タイプアダプタ | CS-510 | 84,000円 （税込：92,400円） | SC-62 / SOT-89用 | |
| TO-247-4Lタイプアダプタ | CS-512 | 84,000円 （税込：92,400円） | TO-247-4L用 | |
| SON-8タイプアダプタ | CS-513 | 84,000円 （税込：92,400円） | DFN-8(5×6)用 | |
| その他 | 測定用台車 | MT-600L | 325,000円 （税込：357,500円） | 最大荷重：100ｋg |